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Veeco公司(納斯達(dá)克股票代碼:VECO)今日宣布推出3款新型市場領(lǐng)先的TurboDisc?金屬有機化學(xué)氣象沉積設(shè)備(MOCVD),用于生產(chǎn)高亮度發(fā)光二級管。
MaxBright M:更緊湊的模塊化Veeco多反應(yīng)腔設(shè)備。與MaxBright相比MaxBright M能提供更好的服務(wù)便利性,廠房面積利用率提高15%。該機型具有更好的布局配置靈活性以適應(yīng)不同客戶的場地要求。
MaxBright MHP:模塊化的“M”機型中的高性能版。MaxBright MHP的片內(nèi)波長均勻性比MaxBright提高了20%。由于技術(shù)進(jìn)步,熱性能和流動性能得到改善,因此良率得以提高。與MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。
K465i HP:是Veeco的單反應(yīng)腔MOCVD設(shè)備的高性能版。與K465i相比片內(nèi)波長均勻性提高20%而使用成本更低。
這些新設(shè)備均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圓生長,F(xiàn)有的MaxBright和K465i設(shè)備都能很容易地現(xiàn)場升級到高性能版。所有Veeco的MOCVD設(shè)備都擁有維護需求低的TurboDisc技術(shù),從而具有最長的設(shè)備連續(xù)生產(chǎn)時間和最高產(chǎn)量。
Veeco工藝設(shè)備執(zhí)行副總裁William J. Miller博士表示:“這一系列新產(chǎn)品為我們客戶的資金投資以及在客戶獨特的生產(chǎn)環(huán)境下設(shè)備更好運行提供了極大的靈活性。MaxBright M, MaxBright MHP以及K465i HP的創(chuàng)新源于我們傾聽了客戶的意見和專注于改善設(shè)備性能,從而推動了產(chǎn)量和良率的提高。產(chǎn)量和良率正是我們客戶成功的2個關(guān)鍵因素。”
Veeco主席&首席執(zhí)行官John R. Peeler 補充道:“基于我們在業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)和自動化的專業(yè)程度而推出的這套新產(chǎn)品系列,可以幫助降低生產(chǎn)成本,從而加速全球LED照明普及。 Veeco公司將繼續(xù)致力于提供業(yè)界最大容量,最高產(chǎn)量和最低使用成本的MOCVD設(shè)備。”
據(jù)IMS調(diào)查,2010年推出的K465i設(shè)備是該年度最暢銷的MOCVD設(shè)備。2011年推出的MaxBright是去年最暢銷的機臺。化合物半導(dǎo)體雜志最近為Veeco公司頒發(fā)了“化合物半導(dǎo)體制造獎”,評價道“MaxBright設(shè)備是化合物半導(dǎo)體制造業(yè)在過去一年中的最大突破”。