2024年11月4日消息，國家知識產權局信息顯示，北京旭燦半導體科技有限公司取得一項名為“氣體循環(huán)裝置和晶體生長系統(tǒng)”的專利，授權公告號 CN 221940690 U，申請日期為 2023年12月。

專利摘要顯示，本申請?zhí)峁┮环N氣體循環(huán)裝置和晶體生長系統(tǒng)。氣體循環(huán)裝置，包括熱交換器、壓縮機、冷卻環(huán)、第一流量計、浮球流量計和真空泵，熱交換器具有進口和出口，出口與進口通過第一管路連通;壓縮機設置在第一管路上，用于對其他進行壓縮;冷卻環(huán)設置在第一管路上，且位于熱交換器的出口與壓縮機之間，用于對第一管路中的氣體進行冷卻降溫;第一流量計設置在第一管路上，且位于壓縮機與熱交換器進口之間，用于控制第一管路內氣體的流量;浮球流量計設置在第一流量計與熱交換器進口之間，用于顯示第一流量計與熱交換器之間是否具有氣體;真空泵一端與第一管路的第一區(qū)域通過第二管路連通，第二端與外部連通，以用于將第一管路中的氣體排空。

(關鍵字：半導體)